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서울과학기술대학교자동차공학과

초소형 기전연구실

이상훈 교수자동차공학과

자동차용 초소형 센서 개발: 압력센서, 유량센서 등의 차량 관련 센서 개발, M/NEMS 소자 개발: AFM 프로브, 마이크로 그리퍼 등 M/NEMS 관련 소자 개발, M/NEMS 공정 개발: FIB 증착, ZnO 증착, PZT 식각조건 등의 M/NEMS 관련 공정 개발 분야를 연구합니다.

자동차용 초소형 센서 개발: 압력센서유량센서 등의 차량 관련 센서 개발M/NEMS 소자 개발: AFM 프로브

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